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小型薄膜激光刻蝕機(jī)

小型薄膜激光刻蝕設(shè)備

適用柔性材料PET、玻璃等基底材料上的導(dǎo)電氧化物刻蝕、剝離等。(1)設(shè)備型號(hào):YLET1010MG (2)本設(shè)備系統(tǒng)由三大部分組成:主機(jī)、冷水機(jī)、抽塵機(jī)。 (3)適用柔性材料PET、玻璃等基底材料上的導(dǎo)電氧化物刻蝕、剝離等。 (4)加工幅面為:100*100mm。

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一、系統(tǒng)介紹激光刻蝕機(jī)

(1)設(shè)備型號(hào):YLET1010MG

(2)本設(shè)備系統(tǒng)由三大部分組成:主機(jī)、冷水機(jī)、抽塵機(jī)。

(3)適用柔性材料PET、玻璃等基底材料上的導(dǎo)電氧化物刻蝕、剝離等。

(4)加工幅面為:100*100mm。


        二、主要技術(shù)參數(shù)

序號(hào)

項(xiàng)目名稱

技術(shù)參數(shù)

1

設(shè)備型號(hào)

YLET1010MG

2

激光器

納秒綠光激光器

3

波長(zhǎng)

532nm

4

功率

5W

5

激光器頻率調(diào)節(jié)范圍

30K-100KHZ

6

加工幅面

100*100mm

7

聚焦光斑

≥50um(100mm幅面)

8

CCD抓靶精度

±10um

9

X/Y運(yùn)動(dòng)模組重復(fù)定位精度

±10um

10

刻蝕最小線寬

≥50um(100mm幅面)

11

最小線間隔距

≥50um(100mm幅面)

12

刻蝕速度

<3000mm/S

13

主機(jī)設(shè)備尺寸

1050*700*1660mm(L*W*H)

14

冷水機(jī)尺寸

580*290*520mm(L*W*H)

15

抽塵機(jī)尺寸

600*500*800mm(L*W*H)

16

主機(jī)設(shè)備重量

300KG

17

主機(jī)額定功率

3000W

18

可處理的文件格式

標(biāo)準(zhǔn)CAD版本DXF文件


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