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薄膜太陽能電池激光刻蝕機-中試線

鈣鈦礦電池激光刻蝕、劃線系統

滿足剛性玻璃基底表面的薄膜類太陽能電池刻蝕,采用四臺設備分別對應不同薄膜電池不同功能層刻蝕需求。P1采用納秒紅外刻蝕TCO,P2采用皮秒紫外或綠光刻蝕功能層,P3采用皮秒紫外或綠光刻蝕背電極,P4采用高功率納秒紅外做清邊。

客戶服務熱線

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基本功能

滿足剛性玻璃基底表面的薄膜類太陽能電池刻蝕,采用四臺設備分別對應不同薄膜電池不同功能層刻蝕需求。P1采用納秒紅外刻蝕TCO,P2采用皮秒紫外或綠光刻蝕功能層,P3采用皮秒紫外或綠光刻蝕背電極,P4采用高功率納秒紅外做清邊。

 

特別注明:柔性基底中試線元祿光電開發中,可電話詳細咨詢聯系!

 

產能高:可配備多路光束加工(可配單路),單機產能可達100MW;

精度高:采用高精度CCD定位,定位精度±15um;

可靠度高:采用特有結構,設備穩定性高;

適應性強:每一臺設備既可離線(前后需加一段接駁臺),又可在線使用,適應不同客戶的需求;

 

性能參數

參數

P1紅外激光刻蝕機

P2皮秒激光刻蝕機

P3皮秒激光刻蝕機

P4紅外激光刻蝕機

激光波長

1064/532/355nm

355/532 nm

355/532nm

1064nm

功率

30W MOPA

15-60W

15-60W

100W MOPA

加工頭數

單頭/6頭/12頭

單頭/6頭/12頭

單頭/6頭/12頭

單頭/雙頭

電池片尺寸

300*400/500*500/600*600/600*900/600*1200mm

電機定位精度

±5um

電機最高速度

1m/s

最小刻蝕線寬

30um

30um

30um

1-20mm

最小公差

±5um

±5um

±5um

±100um

最小線間距

30um

30um

30um

/

熱效應區

5um

5um

5um

50um

CCD定位精度

±10um

±10um

±10um

±10um

直線度

±20μm

±20μm

±20μm

±20μm

除塵率

≥99%

≥99%

≥99%

≥99%

輸送帶速度

20m/min(速度可調,會對節拍造成影響)

進出料高度

900±20mm


 

溫馨提示:我公司提供“樣品免費加工”服務,您只需提交以下信息,我們會有專人與您聯系。您也可以直接來電垂詢。服務熱線:13429899098。

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